Máy Quang Khắc DUV Nội địa: Bước Ngoặt Của Ngành Chip Trung Quốc

Ưu Đãi Đổi Điểm Thpt

PV Tech News – Trung Quốc được cho là đang sản xuất máy quang khắc cực tím sâu (DUV) nội địa, thiết bị then chốt trong chế tạo chip, với lô hàng đầu tiên dự kiến bàn giao cho SMIC, Hua Hong Semiconductor và CXMT ngay trong năm nay.

Quá trình sản xuất máy DUV kiểu nhúng (immersion DUV) có sự tham gia của nhiều nhóm phát triển tại Trung Quốc, trong đó nổi bật là startup được nhà nước hậu thuẫn – Shanghai Yuliangsheng Technology. Mục tiêu sản lượng năm nay dừng ở 5 máy và tăng lên khoảng 20 máy vào năm sau.

3 khách hàng đầu tiên nhận máy đều nằm trong nhóm doanh nghiệp Trung Quốc có nguy cơ bị ASML (Hà Lan) cắt nguồn cung thiết bị và dịch vụ, theo một dự luật đang được xem xét tại Mỹ. SMIC đã âm thầm thử nghiệm máy DUV nhúng của Shanghai Yuliangsheng Technology từ tháng 9/2025. Phần lớn linh kiện được nội địa hóa, tuy nhiên một số bộ phận quan trọng vẫn phải nhập khẩu từ Nhật Bản. Sự chậm trễ từ chuỗi cung ứng nội địa cũng là nguyên nhân khiến sản lượng năm nay bị giới hạn.

Máy Quang Khắc Duv Nội Địa: Bước Ngoặt Của Ngành Chip Trung Quốc (Nguồn: Internet)

Máy quang khắc đảm nhận công đoạn chiếu và khắc mạch điện lên wafer, tấm silicon mỏng làm vật liệu nền cho chip. Công nghệ DUV nhúng có thể in chi tiết ở tiến trình 28 nm chỉ với một lần phơi sáng và đạt tới 7 nm nếu kết hợp kỹ thuật in nhiều mẫu (multi-patterning). Đánh đổi của phương pháp này là sai số chồng lớp lớn hơn, kéo theo tỷ lệ thành phẩm (yield) thấp hơn so với công nghệ EUV.

EED

CEO ASML Christophe Fouquet, trong cuộc họp gần đây, cho biết cường độ quang khắc DRAM tăng lên một phần do khách hàng đang chuyển từ kỹ thuật in nhiều mẫu sang công nghệ siêu cực tím (EUV) phơi sáng một lần, giúp giảm chi phí sản xuất. ASML hiện là nhà sản xuất thiết bị làm chip lớn nhất thế giới theo vốn hóa thị trường, đồng thời là công ty duy nhất làm chủ công nghệ EUV. Mỗi máy EUV có giá lên tới 250 triệu USD và là nền tảng để các hãng như Nvidia, AMD thiết kế, còn TSMC, Intel, Samsung sản xuất những dòng chip tiên tiến nhất hiện nay.

Ngành bán dẫn Trung Quốc nhiều năm qua đối mặt với lệnh phạt từ Mỹ, không chỉ nhắm vào máy EUV mà còn vào DUV. Việc bị hạn chế tiếp cận thiết bị tiên tiến từ ASML buộc các doanh nghiệp nước này phải đẩy mạnh nỗ lực tự chủ chuỗi cung ứng chip. Trước đó, Reuters từng đưa tin Trung Quốc đã chế tạo nguyên mẫu máy EUV, chiếm gần hết diện tích một nhà máy và đang trong giai đoạn thử nghiệm. Máy đã tạo ra được ánh sáng cực tím nhưng chưa sản xuất được chip hoàn chỉnh.

Trung Quốc Đang Thu Hẹp Dần Khoảng Cách Công Nghệ Trong Lĩnh Vực Bán Dẫn (Nguồn: Internet)

Dù đạt bước tiến đáng chú ý, phân tích độc lập từ tổ chức nghiên cứu AI Futures Project nhận định Trung Quốc khó sản xuất máy DUV nhúng ở quy mô thương mại trước năm 2035. Quá trình kiểm định thiết bị mới để đưa vào dây chuyền sản xuất thực tế có thể kéo dài nhiều tháng, trong khi chất lượng sản phẩm nội địa nhiều khả năng vẫn thua kém ASML, hãng đang nắm giữ tới 98,7% thị phần toàn cầu.

Nhìn chung, đây là tín hiệu cho thấy Trung Quốc đang thu hẹp dần khoảng cách công nghệ trong lĩnh vực bán dẫn, nhưng chặng đường để cạnh tranh sòng phẳng với ASML ở phân khúc thiết bị quang khắc cao cấp vẫn còn khá dài. Diễn biến này cũng có thể tác động đến nguồn cung chip toàn cầu trong thời gian tới, đừng quên theo dõi Phong Vũ Tech News để cập nhật những thông tin mới nhất nhé!